Röntgenstrahlen sind eine Methode zur Elementaranalyse und chemischen Analyse. Die Hauptvorteile dieser Methode sind kurze Analysezeit, Empfindlichkeit, Benutzerfreundlichkeit, unbeschädigte Analysemethode und kostengünstige Ausrüstung.

Atome von Materialien, die Röntgenstrahlen ausgesetzt sind, werden ionisiert. Ionisierte Atome verlieren ein oder mehrere Elektronen. Mit energiereichen Röntgenstrahlen können Elektronen aus den inneren Bahnen der Atome entfernt werden. Durch den Verlust von Elektronen aus der inneren Umlaufbahn bildet sich in dieser Umlaufbahn eine Lücke, und die Elektronen in den oberen Orbitalen füllen diese Lücke. In diesem Fall wird Energie in Form von Photonen freigesetzt, die der Energiedifferenz zwischen den beiden Orbitalen entsprechen. Diese Strahlung erfolgt in Form von Strahlung mit der charakteristischen Energie der Atome im Material. Durch die Bestimmung dieser Energien wird das Material quantitativ und qualitativ charakterisiert.